การทำอานาปานสติ คือ การกำหนดรู้ลมหายใจกระทบกายจุดใดจุดหนึ่งเพียงจุดเดียว เริ่มต้นลมหายใจหยาบ เมื่อจิตสงบลมหายใจจะเปลี่ยนเป็นละเอียดต่อเนื่อง แผ่วเบาลงเรื่อยๆ

สุดท้ายลมหายใจจะดับหายไปเหมือนไม่มีลมหายใจ ความรู้สึกทางกายดับสนิท เหลือแต่ความว่าง สงบ โปร่งโล่ง เบาสบาย เหลือจิตตั้งมั่น สติผู้รู้และอุเบกขา

อยู่กับความสงบจนเต็มอิ่มจิตจะถอนจากสมาธิออกมาเองไม่ต้องบังคับ ความรู้สึกถึงลมหายใจและกายจะกลับมา ตอนนั้นจิตจะเต็มไปด้วยกำลัง ปีติและอุเบกขา เหมาะแก่การนำไปวิปัสสนาพิจารณากฏไตรลักษณ์ ทุกขัง อนิจจัง อนัตตา ความไม่เที่ยงของร่างกาย กระดูก ขน ผม เล็บ ฟันและหนัง

จิตที่เป็นกลางเพราะอุเบกขาจากสมาธิจะรู้เห็นตามความเป็นจริง เกิดปัญญาสว่างไสว เห็นกฏไตรลักษณ์จริงๆ ต่างจากการพิจารณาโดยไม่มีอุเบกขาจากสมาธิมาก