https://redian.news/wxnews/371554
นับตั้งแต่สหรัฐฯ เปิดฉากสงครามการค้า การคว่ำบาตรชิปก็เป็นหนึ่งในไม่กี่สาขาที่สหรัฐฯ กีดกันเรา ผมไม่รู้ว่ามีผู้เชี่ยวชาญกี่คนที่พูดซ้ำๆ ว่าเครื่องพิมพ์หินเป็นการตกผลึกของภูมิปัญญามนุษย์ในโลกนี้ พวกเขาจัดหาโดยซัพพลายเออร์มากกว่า 5,000 รายจากกว่า 30 ประเทศ ก่อตั้งขึ้นจากความพยายามร่วมกันของนักธุรกิจและเป็นไปไม่ได้ที่จะจัดการกับสิ่งนี้ด้วยความแข็งแกร่งของจีนเพียงอย่างเดียว แต่เราประสบความสำเร็จในการแปลการผลิตชิปเป็นภาษาท้องถิ่นในเวลาเพียงไม่กี่ปี
เริ่มจากเครื่องพิมพ์หินขนาด 90 นาโนเมตร เราได้แยกย่อยเครื่องพิมพ์หินขนาด 65 นาโนเมตร 55 นาโนเมตร 28 นาโนเมตรและระดับเทคนิคอื่นๆ อย่างต่อเนื่อง และขณะนี้สามารถผลิตเครื่องพิมพ์หินขนาด 28 นาโนเมตรในปริมาณมากได้สำเร็จ
28 นาโนเมตรเป็นกระบวนการผลิตชิปกระแสหลักและเติบโตเต็มที่ ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการชิปทั่วโลกได้มากกว่า 70%
เหตุผลก็เพียงพอแล้วหลังจากประสบความสำเร็จในการพัฒนาเครื่องพิมพ์หินในประเทศล้วนขนาด 28 นาโนเมตร จากมุมมองทางเศรษฐกิจล้วน ๆ การคว่ำบาตรชิปของสหรัฐล้มเหลว
อย่างไรก็ตาม สหรัฐอเมริกาได้เล่นชิปเป็นไพ่ทางการเมือง ไม่เพียง แต่แสดงถึงเศรษฐกิจเท่านั้น แต่ยังแสดงถึงความแข็งแกร่งทางเทคนิคที่ไม่มีใครเทียบได้และความสามารถที่น่าดึงดูดใจของสหรัฐอเมริกา กำลังการผลิตของชิประดับไฮเอนด์ขนาด 7 นาโนเมตรและ 5 นาโนเมตรคือ ไม่ใช่แค่เรื่องของเงินเท่านั้นแต่ยังเป็นเรื่องของเงินอีกด้วย ชนิดของสัญลักษณ์
เราจึงยังพอใจกับเครื่อง 28nm lithography ไม่ได้ เพราะอยากทำจึงต้องทำให้จบในคราวเดียวเราจะฉวยโอกาสที่อเมริกาเล่นงานชิปการ์ดเพื่อทุบตลาด กรองเทคโนโลยีของอเมริกาให้อยู่ยงคงกระพันได้ในคราวเดียวและปล่อยให้พ่อค้าที่กล้าทำตามมาตรการคว่ำบาตรของสหรัฐฯ ต่อประเทศเรา ประสบความสูญเสียอย่างหนักเพื่อเป็นอุทาหรณ์เตือนใจผู้อื่น
ในขณะที่สายการผลิตชิป 28 นาโนเมตรภายในประเทศเพียงอย่างเดียวเข้าสู่การผลิตอย่างเป็นทางการแล้ว เครื่องพิมพ์หิน DUV ที่พัฒนาโดย Shanghai Microelectronics สามารถบังคับให้ผลิตชิป 7 นาโนเมตรได้โดยใช้เทคโนโลยีการถ่ายภาพซ้อน ซึ่งช่วยแก้ปัญหาชิปในประเทศระดับไฮเอนด์ในประเทศของฉันได้ตั้งแต่เริ่มต้น
อย่างไรก็ตาม ต้นทุนของเทคโนโลยีการถ่ายภาพซ้อนนี้สูงเกินไป และชิป 7 นาโนเมตรที่ผลิตได้ไม่มีคุณค่าสำหรับการผลิตจำนวนมากในเชิงพาณิชย์ และไม่สามารถตอบสนองความต้องการของประเทศของฉันที่จะทำลายการปิดล้อมชิปของสหรัฐฯ ได้อย่างสมบูรณ์
หากคุณต้องการผลิตชิประดับไฮเอนด์ภายในประเทศอย่างแท้จริงและแข่งขันกับพันธมิตรด้านเทคโนโลยีของโลกที่มีอำนาจเพียงประเทศเดียว คุณต้องก้าวข้ามเทคโนโลยีเครื่องพิมพ์หิน EUV
เมื่อเทียบกับเครื่องพิมพ์หินรุ่นล่าง เครื่องพิมพ์หิน EUV มีหลักการที่แตกต่างกันอย่างสิ้นเชิง ดังนั้นแม้ว่าเส้นทางเทคโนโลยีทั่วไปจะสามารถอัพเกรดได้อย่างรวดเร็วจาก 90 นาโนเมตรเป็น 28 นาโนเมตร ชิป 7 นาโนเมตรและ 5 นาโนเมตรก็ไม่สามารถผลิตได้
หากคุณต้องการผลิตชิป 7 นาโนเมตร 5 นาโนเมตร และ 3 นาโนเมตรในเชิงพาณิชย์ที่กำลังพัฒนาทั่วโลก เป็นที่ยอมรับในระดับสากลว่าคุณต้องมีเครื่องพิมพ์หิน EUV และสิ่งนี้สามารถผลิตได้โดย ASML ในเนเธอร์แลนด์เท่านั้น และแม้แต่ ASML ก็มี 90% ของส่วนประกอบที่ซื้อจากกว่า 30 แห่งในประเทศนี้ พวกเขามีหน้าที่รับผิดชอบในการประกอบเท่านั้น และมีเพียง 10% เท่านั้นที่ผลิตได้ในเนเธอร์แลนด์ ดังนั้น ผู้อำนวยการฝ่ายเทคนิคของ ASML จึงกล่าวว่า "ต่อให้เราส่งแบบแปลงให้จีน เขาก็ทำไม่ได้ เพราะพวกเราผลิตเองไม่ได้ นับประสาอะไรกับคนอื่น ถ้าพวกเขาไม่สามารถซื้อชิ้นส่วนได้"
เครื่องพิมพ์หิน EUV มีสามเทคโนโลยีหลัก ได้แก่ ระบบแหล่งกำเนิดแสง EUV ระบบกระจกโค้งความแม่นยำสูง และโต๊ะชิ้นงานคู่สุญญากาศความแม่นยำสูงพิเศษ
จีนไม่ได้ไร้ซึ่งพื้นฐานทางเทคโนโลยี อันที่จริง ยังมีหนึ่งในสามเทคโนโลยีหลักเหล่านี้
ต้นปี 2558 สถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ฉางชุนของจีนได้พัฒนาระบบกระจกโค้งความแม่นยำสูงสำหรับเครื่องพิมพ์หิน EUV ข้อผิดพลาดรูปร่างพื้นผิวการเคลือบหลายชั้นมีค่าน้อยกว่า 0.1 นาโนเมตร ซึ่งถึงมาตรฐานของเครื่องพิมพ์หิน EUV
แต่มีปัญหาเล็กน้อยกับระบบนี้ส่วนประกอบบางส่วนไม่ได้ผลิตในประเทศและอุปกรณ์เคลือบจะซื้อจากต่างประเทศ หากวางไว้ในต่างประเทศ เทคโนโลยีของสถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ฉางชุนอยู่ในระดับสูงสุดของโลกแล้ว แต่เมื่อถูกแบนและถูกลงโทษ จะไม่สามารถซื้ออุปกรณ์เคลือบผิวได้ และจะถูกทิ้งทั้งหมด
เรารู้วิธีการผลิตระบบกระจกโค้งที่มีความแม่นยำสูงระดับสูงสุดของโลก แต่การขาดส่วนประกอบนี้ของอุปกรณ์เคลือบทำให้ไม่สามารถผลิตระบบทั้งหมดได้
ในเดือนกรกฎาคม พ.ศ. 2564 Beijing Zhongkemei ซึ่งเป็นบริษัทโฮลดิ้งของ Chinese Academy of Sciences ประสบความสำเร็จในการพัฒนาอุปกรณ์เคลือบเลนส์ Linear Lloyd และอุปกรณ์เคลือบกระจกโฟกัสระดับนาโนที่มีการควบคุมความแม่นยำในการเคลือบภายใน 0.1 นาโนเมตร ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดทางเทคนิคของ Changchun Institute of ออปติกและกลศาสตร์สำหรับส่วนประกอบ หลังจากที่อุปกรณ์เคลือบผิวที่พัฒนาโดย Zhongke Kemei ถูกส่งไปยังสถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ฉางชุน ประเทศของจีนก็ผลิตระบบกระจกโค้งความแม่นยำสูงระดับเครื่องจักรสำหรับการพิมพ์หินระดับ EUV ในทันที
ครั้งนี้ผลิตในจีนล้วนๆ และส่วนประกอบทุกชิ้นผลิตในจีน
จนถึงตอนนี้ ประเทศของจีนได้ทำลายหนึ่งในสามของเทคโนโลยีหลักของเครื่องพิมพ์หิน EUV แล้วเหลือสองเทคโนโลยี
ในปี 2022 ข่าวดีมาจาก Harbin Institute of Technology ทีมวิจัยทางวิทยาศาสตร์ของมหาวิทยาลัยประสบความสำเร็จในการพัฒนาอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์ความแม่นยำสูงพิเศษสำหรับสุญญากาศโดยมีความละเอียดในการกระจัดที่ 17:00 น. และค่าเบี่ยงเบนมาตรฐานของการวัดการกระจัดที่ 30:00 น. ตัวชี้วัดที่สำคัญคือ ใกล้กับระดับสูงสุดของ ASML และพบกับชิ้นงานคู่แบบสุญญากาศ EUV ข้อกำหนดด้านความแม่นยำของไต้หวันสำหรับเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ความเร็วสูงพิเศษที่มีความแม่นยำสูง
การสร้างโต๊ะทำงานคู่ไม่ใช่เรื่องยาก แต่ความแม่นยำในการทำงานของโต๊ะทำงานคู่นั้นถูกกำหนดโดยเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์
ประเทศของเราได้ทำลายเทคโนโลยีที่สำคัญของเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ความแม่นยำสูงพิเศษสำหรับสุญญากาศ และสามารถผลิตโต๊ะชิ้นงานสุญญากาศสองชั้นที่มีความแม่นยำสูงพิเศษได้อย่างง่ายดาย
ด้วยผลงานดังกล่าว สถาบันเทคโนโลยีฮาร์บินได้รับรางวัล Golden Tunnel Award ซึ่งเป็นรางวัลเกียรติยศสูงสุดในสาขาออพติคของจีนในปี 2565 และเป็นอันดับหนึ่งในรายการรางวัลเหรียญทอง
ตอนนี้คุณควรรู้แล้วว่าทำไมสหรัฐอเมริกาจึงให้ Harbin Institute of Technology อยู่ในรายชื่อหน่วยงานที่ถูกลงโทษและขัดขวางการพัฒนาโรงเรียนแห่งนี้อย่างสิ้นหวัง รายชื่อการคว่ำบาตรของสหรัฐได้รับการคัดเลือกมาอย่างดีและจะไม่ทำผิดต่อใคร ผู้ที่ไม่เข้าเกณฑ์ก็ไม่คู่ควรกับรายชื่อนี้
เนื่องจากการสนับสนุนของสถาบันเทคโนโลยีฮาร์บิน เทคโนโลยีหลักที่สองในสามของเครื่องจักรพิมพ์หินระดับ EUV จึงประสบความสำเร็จในการเจาะทะลุโดยประเทศของเรา
รายการสุดท้ายที่เหลืออยู่คือระบบแหล่งกำเนิดแสง EUV ซึ่งเป็นแกนหลักเช่นกัน เครื่องพิมพ์หิน EUV ฟังชื่อแล้วคุณจะรู้ว่าแหล่งกำเนิดแสงคือสิ่งสำคัญ และแหล่งกำเนิดแสง EUV คือองค์ประกอบหัวใจของเครื่องพิมพ์หิน EUV
มีเพียงสหรัฐอเมริกาเท่านั้นที่สามารถสร้างสิ่งนี้ในโลกนี้ได้และรวมอยู่ในข้อตกลง Wassenaar อย่างชัดแจ้งเป็นเวลาหลายปี รัฐสมาชิก 42 รัฐของ Wassenaar list ภายใต้สหรัฐอเมริกาได้ร่วมกันห้ามการขายให้กับจีนอย่างเข้มงวด หากไม่มีแหล่งกำเนิดแสงระดับ EUVแม้ว่าส่วนประกอบอื่นๆ ของเครื่องพิมพ์หินทั้งหมดจะผลิตในประเทศจีน ก็ไม่มีประโยชน์
ในช่วงครึ่งหลังของปี 2022 มีข่าวลือว่าจีนประสบความสำเร็จในการพัฒนาแหล่งกำเนิดแสงระดับ EUV แต่ไม่มีข้อมูลยืนยันอย่างเป็นทางการ
เมื่อวันที่ 13 เมษายน 2023 เว็บไซต์ทางการของสถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ฉางชุนประกาศว่า Bai Chunli นักวิชากา จาก Chinese Academy of Sciences และอดีตประธาน Chinese Academy of Sciences เยี่ยมชมระบบแหล่งกำเนิดแสง EUV ที่สถาบันฉางชุน สาขาทัศนศาสตร์และกลศาสตร์
นี่เป็นการยืนยันอย่างเป็นทางการครั้งแรกจากประเทศจีนว่าประเทศของฉันประสบความสำเร็จในการพัฒนาระบบแหล่งกำเนิดแสง EUV
ยิ่งไปกว่านั้น ในการแนะนำบนเว็บไซต์อย่างเป็นทางการ มีการระบุไว้อย่างชัดเจนว่าสิ่งที่ Bai Chunli เยี่ยมชมคือต้นแบบของแหล่งกำเนิดแสง EUV ซึ่งหมายความว่าแม้แต่เครื่องต้นแบบทางวิศวกรรมของสถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ฉางชุนก็ยังได้รับการผลิต
ที่เรียกว่าต้นแบบทางวิศวกรรมหมายถึงต้นแบบ 1:1 ที่พัฒนาขึ้นเพื่อการใช้งานเชิงพาณิชย์ ซึ่งสามารถผลิตจำนวนมากได้โดยตรงและส่งมอบให้กับลูกค้าหลังจากผ่านการทดสอบการยอมรับ
ตาม "กฎที่ซ่อนอยู่" ของจีน เป็นไปไม่ได้ที่จะเชิญผู้นำมาเยี่ยมชมต้นแบบทางวิศวกรรมก่อนที่จะได้รับการยืนยันว่าประสบความสำเร็จหลังจากการทดสอบอย่างเข้มงวด หากคุณกล้าให้ผู้นำมาเยี่ยมชมและประกาศบนเว็บไซต์ทางการ แสดงว่า ว่าต้นแบบทางวิศวกรรมไม่เพียงแต่ผลิตสำเร็จแต่ยังผ่านการทดสอบ ทดสอบสำเร็จแล้ว
เมื่อนับเวลาถอยหลัง เมื่อสิ้นปีที่แล้ว แหล่งกำเนิดแสง EUV ประสบความสำเร็จในการพัฒนาในห้องปฏิบัติการที่ Changchun Optics and Machinery ทำงานอยู่จนถึงตอนนี้ จีนประสบความสำเร็จในการเจาะทะลุเทคโนโลยีหลักทั้งหมดของเครื่องพิมพ์หิน EUV ก้าวข้ามเกณฑ์หลักของเครื่องพิมพ์หินระดับไฮเอนด์และเครื่องพิมพ์หินระดับกลาง และประตูสู่สายการผลิตชิปในประเทศอย่างหมดจด 7 นาโนเมตร 5 นาโนเมตร และแม้แต่ 3 นาโนเมตร ถูกจีนเปิดโดยสมบูรณ์ สื่อต่างประเทศวิจารณ์ข่าวนี้ว่าเป็น "ความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีที่ระเบิดได้"
ตามความก้าวหน้าตามปกติของอุตสาหกรรมเครื่องพิมพ์หิน จะใช้เวลาเพียงหนึ่งปีหลังจากผลิตต้นแบบแหล่งกำเนิดแสงเพื่อผลิตเครื่องพิมพ์หินสำหรับการผลิตชิป จากนั้นจะใช้เวลาประมาณ 2 ปีสำหรับการทดสอบต่างๆ การใช้งานในเชิงพาณิชย์ และการใช้งานในสเกลเชิงพาณิชย์ .
กล่าวอีกนัยหนึ่ง จีนจะประสบความสำเร็จในการผลิตเครื่องพิมพ์หินระดับ EUV ภายในประเทศในปี 2024 และจะทำการค้าอย่างเต็มรูปแบบก่อนปี 2026 หากองค์กรและหน่วยงานกำกับดูแลทั้งหมดทำงานร่วมกันเพื่อทำงานล่วงเวลา เวลานี้ก็จะก้าวหน้าไปได้
แผนเดิมของจีนคือการบรรจุสร้างเครื่องพิมพ์หิน EUV ก่อนปี 2030 ตามความคืบหน้าในปัจจุบัน มันสามารถก้าวหน้าอย่างมากอย่างแน่นอน อย่างน้อย 4 ปีหรือแม้แต่ 5 ปีล่วงหน้า
ทำไมคุณถึงรู้สึกว่าจีนยังห่างไกลจากเครื่องพิมพ์หิน EUV ระดับไฮเอนด์ในปีที่แล้ว แต่ปีนี้จู่ๆ เครื่องก็พังทลายและเปลี่ยนไปมากในชั่วข้ามคืน
ก่อนหน้านี้เคยมีคำถามเกี่ยวกับดอกบัวในบ่อ เป็นที่ทราบกันดีว่าพื้นที่ของมันเพิ่มขึ้น 2 เท่าทุกวัน และสามารถเต็มสระได้ภายใน 30 วัน แล้วถ้าเต็มครึ่งสระจะใช้เวลากี่วัน?
คำตอบคือ 29 วัน และใช้เวลา 29 วันในการปิดสระครึ่งหนึ่ง
หากคุณเป็นคนที่ดูแค่ผิวเผิน เมื่อไปตรวจบ่อในวันที่ 29 คุณจะคิดว่าดอกบัวยังห่างไกลจากความเต็มบ่อแต่เมื่อมาในวันรุ่งขึ้นก็ต้องตกใจเมื่อพบว่าในชั่วข้ามคืนมีดอกบัวเต็มสระไปหมด แล้วก็ได้เวลาดอกบัวบาน
เครื่องพิมพ์หินEUV จะเป็นการปลดโซ่ตรวง อิสระอุตสาหกรรมผลิตชิปของจีน
นับตั้งแต่สหรัฐฯ เปิดฉากสงครามการค้า การคว่ำบาตรชิปก็เป็นหนึ่งในไม่กี่สาขาที่สหรัฐฯ กีดกันเรา ผมไม่รู้ว่ามีผู้เชี่ยวชาญกี่คนที่พูดซ้ำๆ ว่าเครื่องพิมพ์หินเป็นการตกผลึกของภูมิปัญญามนุษย์ในโลกนี้ พวกเขาจัดหาโดยซัพพลายเออร์มากกว่า 5,000 รายจากกว่า 30 ประเทศ ก่อตั้งขึ้นจากความพยายามร่วมกันของนักธุรกิจและเป็นไปไม่ได้ที่จะจัดการกับสิ่งนี้ด้วยความแข็งแกร่งของจีนเพียงอย่างเดียว แต่เราประสบความสำเร็จในการแปลการผลิตชิปเป็นภาษาท้องถิ่นในเวลาเพียงไม่กี่ปี
เริ่มจากเครื่องพิมพ์หินขนาด 90 นาโนเมตร เราได้แยกย่อยเครื่องพิมพ์หินขนาด 65 นาโนเมตร 55 นาโนเมตร 28 นาโนเมตรและระดับเทคนิคอื่นๆ อย่างต่อเนื่อง และขณะนี้สามารถผลิตเครื่องพิมพ์หินขนาด 28 นาโนเมตรในปริมาณมากได้สำเร็จ
28 นาโนเมตรเป็นกระบวนการผลิตชิปกระแสหลักและเติบโตเต็มที่ ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการชิปทั่วโลกได้มากกว่า 70%
เหตุผลก็เพียงพอแล้วหลังจากประสบความสำเร็จในการพัฒนาเครื่องพิมพ์หินในประเทศล้วนขนาด 28 นาโนเมตร จากมุมมองทางเศรษฐกิจล้วน ๆ การคว่ำบาตรชิปของสหรัฐล้มเหลว
อย่างไรก็ตาม สหรัฐอเมริกาได้เล่นชิปเป็นไพ่ทางการเมือง ไม่เพียง แต่แสดงถึงเศรษฐกิจเท่านั้น แต่ยังแสดงถึงความแข็งแกร่งทางเทคนิคที่ไม่มีใครเทียบได้และความสามารถที่น่าดึงดูดใจของสหรัฐอเมริกา กำลังการผลิตของชิประดับไฮเอนด์ขนาด 7 นาโนเมตรและ 5 นาโนเมตรคือ ไม่ใช่แค่เรื่องของเงินเท่านั้นแต่ยังเป็นเรื่องของเงินอีกด้วย ชนิดของสัญลักษณ์
เราจึงยังพอใจกับเครื่อง 28nm lithography ไม่ได้ เพราะอยากทำจึงต้องทำให้จบในคราวเดียวเราจะฉวยโอกาสที่อเมริกาเล่นงานชิปการ์ดเพื่อทุบตลาด กรองเทคโนโลยีของอเมริกาให้อยู่ยงคงกระพันได้ในคราวเดียวและปล่อยให้พ่อค้าที่กล้าทำตามมาตรการคว่ำบาตรของสหรัฐฯ ต่อประเทศเรา ประสบความสูญเสียอย่างหนักเพื่อเป็นอุทาหรณ์เตือนใจผู้อื่น
ในขณะที่สายการผลิตชิป 28 นาโนเมตรภายในประเทศเพียงอย่างเดียวเข้าสู่การผลิตอย่างเป็นทางการแล้ว เครื่องพิมพ์หิน DUV ที่พัฒนาโดย Shanghai Microelectronics สามารถบังคับให้ผลิตชิป 7 นาโนเมตรได้โดยใช้เทคโนโลยีการถ่ายภาพซ้อน ซึ่งช่วยแก้ปัญหาชิปในประเทศระดับไฮเอนด์ในประเทศของฉันได้ตั้งแต่เริ่มต้น
อย่างไรก็ตาม ต้นทุนของเทคโนโลยีการถ่ายภาพซ้อนนี้สูงเกินไป และชิป 7 นาโนเมตรที่ผลิตได้ไม่มีคุณค่าสำหรับการผลิตจำนวนมากในเชิงพาณิชย์ และไม่สามารถตอบสนองความต้องการของประเทศของฉันที่จะทำลายการปิดล้อมชิปของสหรัฐฯ ได้อย่างสมบูรณ์
หากคุณต้องการผลิตชิประดับไฮเอนด์ภายในประเทศอย่างแท้จริงและแข่งขันกับพันธมิตรด้านเทคโนโลยีของโลกที่มีอำนาจเพียงประเทศเดียว คุณต้องก้าวข้ามเทคโนโลยีเครื่องพิมพ์หิน EUV
เมื่อเทียบกับเครื่องพิมพ์หินรุ่นล่าง เครื่องพิมพ์หิน EUV มีหลักการที่แตกต่างกันอย่างสิ้นเชิง ดังนั้นแม้ว่าเส้นทางเทคโนโลยีทั่วไปจะสามารถอัพเกรดได้อย่างรวดเร็วจาก 90 นาโนเมตรเป็น 28 นาโนเมตร ชิป 7 นาโนเมตรและ 5 นาโนเมตรก็ไม่สามารถผลิตได้
หากคุณต้องการผลิตชิป 7 นาโนเมตร 5 นาโนเมตร และ 3 นาโนเมตรในเชิงพาณิชย์ที่กำลังพัฒนาทั่วโลก เป็นที่ยอมรับในระดับสากลว่าคุณต้องมีเครื่องพิมพ์หิน EUV และสิ่งนี้สามารถผลิตได้โดย ASML ในเนเธอร์แลนด์เท่านั้น และแม้แต่ ASML ก็มี 90% ของส่วนประกอบที่ซื้อจากกว่า 30 แห่งในประเทศนี้ พวกเขามีหน้าที่รับผิดชอบในการประกอบเท่านั้น และมีเพียง 10% เท่านั้นที่ผลิตได้ในเนเธอร์แลนด์ ดังนั้น ผู้อำนวยการฝ่ายเทคนิคของ ASML จึงกล่าวว่า "ต่อให้เราส่งแบบแปลงให้จีน เขาก็ทำไม่ได้ เพราะพวกเราผลิตเองไม่ได้ นับประสาอะไรกับคนอื่น ถ้าพวกเขาไม่สามารถซื้อชิ้นส่วนได้"
เครื่องพิมพ์หิน EUV มีสามเทคโนโลยีหลัก ได้แก่ ระบบแหล่งกำเนิดแสง EUV ระบบกระจกโค้งความแม่นยำสูง และโต๊ะชิ้นงานคู่สุญญากาศความแม่นยำสูงพิเศษ
จีนไม่ได้ไร้ซึ่งพื้นฐานทางเทคโนโลยี อันที่จริง ยังมีหนึ่งในสามเทคโนโลยีหลักเหล่านี้
ต้นปี 2558 สถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ฉางชุนของจีนได้พัฒนาระบบกระจกโค้งความแม่นยำสูงสำหรับเครื่องพิมพ์หิน EUV ข้อผิดพลาดรูปร่างพื้นผิวการเคลือบหลายชั้นมีค่าน้อยกว่า 0.1 นาโนเมตร ซึ่งถึงมาตรฐานของเครื่องพิมพ์หิน EUV
แต่มีปัญหาเล็กน้อยกับระบบนี้ส่วนประกอบบางส่วนไม่ได้ผลิตในประเทศและอุปกรณ์เคลือบจะซื้อจากต่างประเทศ หากวางไว้ในต่างประเทศ เทคโนโลยีของสถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ฉางชุนอยู่ในระดับสูงสุดของโลกแล้ว แต่เมื่อถูกแบนและถูกลงโทษ จะไม่สามารถซื้ออุปกรณ์เคลือบผิวได้ และจะถูกทิ้งทั้งหมด
เรารู้วิธีการผลิตระบบกระจกโค้งที่มีความแม่นยำสูงระดับสูงสุดของโลก แต่การขาดส่วนประกอบนี้ของอุปกรณ์เคลือบทำให้ไม่สามารถผลิตระบบทั้งหมดได้
ในเดือนกรกฎาคม พ.ศ. 2564 Beijing Zhongkemei ซึ่งเป็นบริษัทโฮลดิ้งของ Chinese Academy of Sciences ประสบความสำเร็จในการพัฒนาอุปกรณ์เคลือบเลนส์ Linear Lloyd และอุปกรณ์เคลือบกระจกโฟกัสระดับนาโนที่มีการควบคุมความแม่นยำในการเคลือบภายใน 0.1 นาโนเมตร ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดทางเทคนิคของ Changchun Institute of ออปติกและกลศาสตร์สำหรับส่วนประกอบ หลังจากที่อุปกรณ์เคลือบผิวที่พัฒนาโดย Zhongke Kemei ถูกส่งไปยังสถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ฉางชุน ประเทศของจีนก็ผลิตระบบกระจกโค้งความแม่นยำสูงระดับเครื่องจักรสำหรับการพิมพ์หินระดับ EUV ในทันที
ครั้งนี้ผลิตในจีนล้วนๆ และส่วนประกอบทุกชิ้นผลิตในจีน
จนถึงตอนนี้ ประเทศของจีนได้ทำลายหนึ่งในสามของเทคโนโลยีหลักของเครื่องพิมพ์หิน EUV แล้วเหลือสองเทคโนโลยี
ในปี 2022 ข่าวดีมาจาก Harbin Institute of Technology ทีมวิจัยทางวิทยาศาสตร์ของมหาวิทยาลัยประสบความสำเร็จในการพัฒนาอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์ความแม่นยำสูงพิเศษสำหรับสุญญากาศโดยมีความละเอียดในการกระจัดที่ 17:00 น. และค่าเบี่ยงเบนมาตรฐานของการวัดการกระจัดที่ 30:00 น. ตัวชี้วัดที่สำคัญคือ ใกล้กับระดับสูงสุดของ ASML และพบกับชิ้นงานคู่แบบสุญญากาศ EUV ข้อกำหนดด้านความแม่นยำของไต้หวันสำหรับเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ความเร็วสูงพิเศษที่มีความแม่นยำสูง
การสร้างโต๊ะทำงานคู่ไม่ใช่เรื่องยาก แต่ความแม่นยำในการทำงานของโต๊ะทำงานคู่นั้นถูกกำหนดโดยเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์
ประเทศของเราได้ทำลายเทคโนโลยีที่สำคัญของเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ความแม่นยำสูงพิเศษสำหรับสุญญากาศ และสามารถผลิตโต๊ะชิ้นงานสุญญากาศสองชั้นที่มีความแม่นยำสูงพิเศษได้อย่างง่ายดาย
ด้วยผลงานดังกล่าว สถาบันเทคโนโลยีฮาร์บินได้รับรางวัล Golden Tunnel Award ซึ่งเป็นรางวัลเกียรติยศสูงสุดในสาขาออพติคของจีนในปี 2565 และเป็นอันดับหนึ่งในรายการรางวัลเหรียญทอง
ตอนนี้คุณควรรู้แล้วว่าทำไมสหรัฐอเมริกาจึงให้ Harbin Institute of Technology อยู่ในรายชื่อหน่วยงานที่ถูกลงโทษและขัดขวางการพัฒนาโรงเรียนแห่งนี้อย่างสิ้นหวัง รายชื่อการคว่ำบาตรของสหรัฐได้รับการคัดเลือกมาอย่างดีและจะไม่ทำผิดต่อใคร ผู้ที่ไม่เข้าเกณฑ์ก็ไม่คู่ควรกับรายชื่อนี้
เนื่องจากการสนับสนุนของสถาบันเทคโนโลยีฮาร์บิน เทคโนโลยีหลักที่สองในสามของเครื่องจักรพิมพ์หินระดับ EUV จึงประสบความสำเร็จในการเจาะทะลุโดยประเทศของเรา
รายการสุดท้ายที่เหลืออยู่คือระบบแหล่งกำเนิดแสง EUV ซึ่งเป็นแกนหลักเช่นกัน เครื่องพิมพ์หิน EUV ฟังชื่อแล้วคุณจะรู้ว่าแหล่งกำเนิดแสงคือสิ่งสำคัญ และแหล่งกำเนิดแสง EUV คือองค์ประกอบหัวใจของเครื่องพิมพ์หิน EUV
มีเพียงสหรัฐอเมริกาเท่านั้นที่สามารถสร้างสิ่งนี้ในโลกนี้ได้และรวมอยู่ในข้อตกลง Wassenaar อย่างชัดแจ้งเป็นเวลาหลายปี รัฐสมาชิก 42 รัฐของ Wassenaar list ภายใต้สหรัฐอเมริกาได้ร่วมกันห้ามการขายให้กับจีนอย่างเข้มงวด หากไม่มีแหล่งกำเนิดแสงระดับ EUVแม้ว่าส่วนประกอบอื่นๆ ของเครื่องพิมพ์หินทั้งหมดจะผลิตในประเทศจีน ก็ไม่มีประโยชน์
ในช่วงครึ่งหลังของปี 2022 มีข่าวลือว่าจีนประสบความสำเร็จในการพัฒนาแหล่งกำเนิดแสงระดับ EUV แต่ไม่มีข้อมูลยืนยันอย่างเป็นทางการ
เมื่อวันที่ 13 เมษายน 2023 เว็บไซต์ทางการของสถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ฉางชุนประกาศว่า Bai Chunli นักวิชากา จาก Chinese Academy of Sciences และอดีตประธาน Chinese Academy of Sciences เยี่ยมชมระบบแหล่งกำเนิดแสง EUV ที่สถาบันฉางชุน สาขาทัศนศาสตร์และกลศาสตร์
นี่เป็นการยืนยันอย่างเป็นทางการครั้งแรกจากประเทศจีนว่าประเทศของฉันประสบความสำเร็จในการพัฒนาระบบแหล่งกำเนิดแสง EUV
ยิ่งไปกว่านั้น ในการแนะนำบนเว็บไซต์อย่างเป็นทางการ มีการระบุไว้อย่างชัดเจนว่าสิ่งที่ Bai Chunli เยี่ยมชมคือต้นแบบของแหล่งกำเนิดแสง EUV ซึ่งหมายความว่าแม้แต่เครื่องต้นแบบทางวิศวกรรมของสถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ฉางชุนก็ยังได้รับการผลิต
ที่เรียกว่าต้นแบบทางวิศวกรรมหมายถึงต้นแบบ 1:1 ที่พัฒนาขึ้นเพื่อการใช้งานเชิงพาณิชย์ ซึ่งสามารถผลิตจำนวนมากได้โดยตรงและส่งมอบให้กับลูกค้าหลังจากผ่านการทดสอบการยอมรับ
ตาม "กฎที่ซ่อนอยู่" ของจีน เป็นไปไม่ได้ที่จะเชิญผู้นำมาเยี่ยมชมต้นแบบทางวิศวกรรมก่อนที่จะได้รับการยืนยันว่าประสบความสำเร็จหลังจากการทดสอบอย่างเข้มงวด หากคุณกล้าให้ผู้นำมาเยี่ยมชมและประกาศบนเว็บไซต์ทางการ แสดงว่า ว่าต้นแบบทางวิศวกรรมไม่เพียงแต่ผลิตสำเร็จแต่ยังผ่านการทดสอบ ทดสอบสำเร็จแล้ว
เมื่อนับเวลาถอยหลัง เมื่อสิ้นปีที่แล้ว แหล่งกำเนิดแสง EUV ประสบความสำเร็จในการพัฒนาในห้องปฏิบัติการที่ Changchun Optics and Machinery ทำงานอยู่จนถึงตอนนี้ จีนประสบความสำเร็จในการเจาะทะลุเทคโนโลยีหลักทั้งหมดของเครื่องพิมพ์หิน EUV ก้าวข้ามเกณฑ์หลักของเครื่องพิมพ์หินระดับไฮเอนด์และเครื่องพิมพ์หินระดับกลาง และประตูสู่สายการผลิตชิปในประเทศอย่างหมดจด 7 นาโนเมตร 5 นาโนเมตร และแม้แต่ 3 นาโนเมตร ถูกจีนเปิดโดยสมบูรณ์ สื่อต่างประเทศวิจารณ์ข่าวนี้ว่าเป็น "ความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีที่ระเบิดได้"
ตามความก้าวหน้าตามปกติของอุตสาหกรรมเครื่องพิมพ์หิน จะใช้เวลาเพียงหนึ่งปีหลังจากผลิตต้นแบบแหล่งกำเนิดแสงเพื่อผลิตเครื่องพิมพ์หินสำหรับการผลิตชิป จากนั้นจะใช้เวลาประมาณ 2 ปีสำหรับการทดสอบต่างๆ การใช้งานในเชิงพาณิชย์ และการใช้งานในสเกลเชิงพาณิชย์ .
กล่าวอีกนัยหนึ่ง จีนจะประสบความสำเร็จในการผลิตเครื่องพิมพ์หินระดับ EUV ภายในประเทศในปี 2024 และจะทำการค้าอย่างเต็มรูปแบบก่อนปี 2026 หากองค์กรและหน่วยงานกำกับดูแลทั้งหมดทำงานร่วมกันเพื่อทำงานล่วงเวลา เวลานี้ก็จะก้าวหน้าไปได้
แผนเดิมของจีนคือการบรรจุสร้างเครื่องพิมพ์หิน EUV ก่อนปี 2030 ตามความคืบหน้าในปัจจุบัน มันสามารถก้าวหน้าอย่างมากอย่างแน่นอน อย่างน้อย 4 ปีหรือแม้แต่ 5 ปีล่วงหน้า
ทำไมคุณถึงรู้สึกว่าจีนยังห่างไกลจากเครื่องพิมพ์หิน EUV ระดับไฮเอนด์ในปีที่แล้ว แต่ปีนี้จู่ๆ เครื่องก็พังทลายและเปลี่ยนไปมากในชั่วข้ามคืน
ก่อนหน้านี้เคยมีคำถามเกี่ยวกับดอกบัวในบ่อ เป็นที่ทราบกันดีว่าพื้นที่ของมันเพิ่มขึ้น 2 เท่าทุกวัน และสามารถเต็มสระได้ภายใน 30 วัน แล้วถ้าเต็มครึ่งสระจะใช้เวลากี่วัน?
คำตอบคือ 29 วัน และใช้เวลา 29 วันในการปิดสระครึ่งหนึ่ง
หากคุณเป็นคนที่ดูแค่ผิวเผิน เมื่อไปตรวจบ่อในวันที่ 29 คุณจะคิดว่าดอกบัวยังห่างไกลจากความเต็มบ่อแต่เมื่อมาในวันรุ่งขึ้นก็ต้องตกใจเมื่อพบว่าในชั่วข้ามคืนมีดอกบัวเต็มสระไปหมด แล้วก็ได้เวลาดอกบัวบาน